1561-5405 10.24151/1561-5405 Proceedings of Universities. Electronics Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics" Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника» 1561-5405 2587-9960 National Research University of Electronic Technology Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" 10.24151/1561-5405-2026-31-2-135-142OSSYVI502.175Технологические процессыSubstantiation of the list of marker pollutants of microelectronic productionОбоснование перечня маркерных загрязняющих веществ микроэлектронного производства03032026Том. 31 №2135142http://ivuz-e.ru/issues/Том 31 №2/obosnovanie_perechnya_markernykh_zagryaznyayushchikh_veshchestv_mikroelektronnogo_proizvodstva/http://ivuz-e.ru#

Microelectronic manufacturing is characterized by complex technological processes that lead to emissions of dangerous pollutants that significantly affect both human health and the environment. In this work, an algorithm is proposed based on the use of the best available technologies and the identification of marker pollutants for effective and economically sound environmental control. The emissions of pollutants into the atmospheric air from microelectronics enterprises located in Zelenograd were examined. The list of marker pollutants for microelectronic production has been substantiated – N,N-dimethylformamide, gaseous fluorides and ammonia, each of which accounts for more than 10 % of the total mass of the emissions of the studied enterprises, is typical for technological processes of microelectronic production and is constantly present in emissions. The results can be used in the development of recommendations in the field of environmental control, including for its optimization, and in formation of a theoretically grounded base for information technology reference books on the best available technologies in the field of microelectronics.

Микроэлектронное производство характеризуется сложными технологическими процессами, которые приводят к выбросам опасных загрязняющих веществ, что оказывает значительное воздействие на человека и окружающую среду. В работе предложен алгоритм, основанный на применении наилучших доступных технологий и определении маркерных загрязняющих веществ для эффективного и экономически обоснованного экологического контроля. Исследованы выбросы в атмосферу загрязняющих веществ от работы предприятий микроэлектроники, расположенных в г. Зеленограде. Обоснован перечень маркерных загрязняющих веществ микроэлектронного производства (N,N-диметилформамид, фториды газообразные и аммиак), каждое из которых составляет более 10 % от общей массы приведенных выбросов и присутствует в выбросах постоянно. Полученные результаты могут применяться при разработке рекомендаций в области экологического контроля, в том числе для его оптимизации, а также при формировании научно обоснованной базы для информационно-технических справочников по наилучшим доступным технологиям в области микроэлектроники.

экологический контрольнаилучшие доступные технологиимаркерные загрязняющие веществамикроэлектронное производствовыбросы загрязняющих веществenvironmental controlbest available technologiesmarker pollutantsmicroelectronic productionpollutant emissions Харламов Н. Р., Рябышенков А. С., Каракеян В. И. Применение интегральных показателей при оценке уровня экологической безопасности наукоемкой природно-технической геосистемы. Изв. вузов. Электроника. 2024;29(4):456–465. https://doi.org/10.24151/1561-5405-2024-29-4-456-465. EDN: CPRINS.Kharlamov N. R., Riabyshenkov A. S., Karakeyan V. I. Application of integrated indices in making an assessment of high-tech natural-engineering geosystem environmental safety level. Izv. vuzov. Elektronika = Proc. Univ. Electronics. 2024;29(4):456–465. (In Russ.). https://doi.org/10.24151/1561-5405-2024-29-4-456-465ГОСТ Р 56828.44–2018. Наилучшие доступные технологии. Производство аммиака, минеральных удобрений и неорганических кислот. Выбор маркерных веществ для выбросов в атмосферу от промышленных источников. М.: Стандартинформ; 2018. iii, 15 с.GOST R 56828.44–2018. Best available techniques. Production of ammonia, mineral fertilizers and inorganic acids. Selection of marker indicators for air emissions from industrial sources.Moscow: Standartinform Publ.; 2018. iii, 15 p. (In Russ.).Методические рекомендации «Выбор группы маркерных веществ для оптимизации системы мониторинга атмосферного воздуха»: утв. Главным государственным санитарным врачом Российской Федерации Е. Н. Беляевым 14 ноября 1995 г. Электронный фонд правовых и нормативно-технических документов. Available at: https://docs.cntd.ru/document/1200060032 (accessed: 07.11.2025).Guidelines “Selection of a group of marker substances for optimizing the atmospheric air monitoring system”: approved by the Chief State Medical Officer of the Russian Federation E. N. Belyaev on November 14, 1995. Elektronnyy fond pravovykh i normativno-tekhnicheskikh dokumentov. (In Russ.). Available at: https://docs.cntd.ru/document/1200060032 (accessed: 07.11.2025).Мантуров Д. В. Переход на наилучшие доступные технологии в аспекте современной промышленной политики Российской Федерации. ВестникМосковского университета. Серия 6: Экономика.2018;(4):25–34. EDN: XYTFYL.Manturov D. V. The implementation of best available techniques as the aspect of the modern industrial policy of the Russian Federation. Vestnik Moskovskogo universiteta. Seriya 6: Ekonomika = Moscow University Economics Bulletin. 2018;(4):25–34. (In Russ.).Пыстина Н. Б., Попадько Н. В., Шарихина Л. В., Гусева Т. В., Бегак М. В., Романюк Л. П., Руут Ю. Подходы к выбору наилучших доступных технологий, маркерных веществ и технологических показателей для переработки природного и попутного газа. Научно-технический сборник «Вести газовой науки». 2017;(5):68–76. EDN: YWNWTU.Pystina N. B., Popadko N. V., Sharikhina L. V., Guseva T. V., Begak M. V., Romanyuk L. P., Ruut J. Approaches to selection of the best available technologies, marker dyes and technological indices for processing of natural and associated gases. Nauchno-tekhnicheskiy sbornik “Vesti gazovoy nauki”. 2017;(5):68–76. (in Russ.).Тяглов С. Г., Воскресова Г. Н. Особенности определения технологии в качестве НДТ: российский и зарубежный опыт. Journal of Economic Regulation.2019;10(2):96–112. https://doi.org/10.17835/2078-5429.2019.10.2.096-112. EDN: LENQOW.Tyaglov S. G., Voskresova G. N. Features of determination of technology as NDT: Russian and foreign experience. Journal of Economic Regulation. 2019;10(2):96–112. https://doi.org/10.17835/2078-5429.2019.10.2.096-112ГОСТ Р 113.00.27–2023. Наилучшие доступные технологии. Методические рекомендации по выбору маркерных веществ в выбросах от промышленных предприятий. М.: Рос. ин-т стандартизации; 2023. iv, 7 с.GOST R 113.00.27–2023. Best available techniques. Guidelines for the selection of marker substances in emissions from individual sources. Moscow: Ros. in-t standartizatsii Publ.; 2023. iv, 7 p. (In Russ.).ГОСТ Р 56062–2014. Производственный экологический контроль. Общие положения. М.: Стандартинформ; 2014. ii, 5 с.GOST R 56062–2014. Industrial ecology control. General principles. Moscow: Standartinform Publ.; 2014. ii, 5 p. (In Russ.).Федеральный закон от 30.03.1999 № 52-ФЗ «О санитарно-эпидемиологическом благополучии населения». КонсультантПлюс. Available at: https://www.consultant.ru/document/cons_doc_LAW_22481/ (accessed: 07.11.2025).RF Federal law of March 30, 1999 no. 52-FZ “On sanitary and epidemiological well-being of population”. Konsul’tantPlyus. (In Russ.). Available at: https://www.consultant.ru/document/cons_doc_LAW_22481/ (accessed: 07.11.2025).Красников Г. Я., Горнев Е. С., Матюшкин И. В. Общая теория технологии и микроэлектроника: ч. 3. Уровень технологической операции. Электронная техника. Серия 3: Микроэлектроника. 2018;(3):63–93. EDN: YOLYHB.Krasnikov G. Ya., Gornev E. S., Matushkin I. V. General theory of technology and microelectronics: pt. 3. Technological operation level. Elektronnaya tekhnika. Seriya 3: Mikroelektronika = Electronic engineering. Series 3. Microelectronics. 2018;(3):63–93. (In Russ.).Симонов Б. М., Заводян А. В. Технологические основы микроэлектроники: учеб. пособие: в 2 ч. Под ред. С. П. Тимошенкова. Ч. 2. М.: МИЭТ; 2009. 156 с.Simonov B. M., Zavodyan A. V. Technological foundations of microelectronics: study guide: 2 parts. Ed. by S. P. Timoshenkov. Pt. 2. Moscow: MIET; 2009. 156 p. (In Russ.).Свистова Т. В. Основы микроэлектроники: учеб. пособие. Воронеж: Воронежский гос. техн. ун-т; 2017. 149 с.Svistova T. V. Fundamentals of microelectronics: study guide. Voronezh: Voronezh State Tech. Univ.; 2017. 149 p. (In Russ.).Распоряжение Правительства РФ от 20.10.2023 № 2909-р (ред. от 23.12.2023) «Об утверждении перечня загрязняющих веществ, в отношении которых применяются меры государственного регулирования в области охраны окружающей среды, и признании утратившими силу некоторых Постановлений Правительства РФ». КонсультантПлюс. Available at: https://www.consultant.ru/document/cons_doc_LAW_460257/ (accessed: 07.11.2025).Executive order of the Government of the RF of Oct. 20, 2023 no. 2909-r (as amended of Dec. 23, 2023) “On approval of the List of pollutants subject to state regulation in the field of environmental protection, and invalidation of certain resolutions of the Government of the Russian Federation”. Konsul’tantPlyus. (In Russ.). Available at: https://www.consultant.ru/document/cons_doc_LAW_460257/ (accessed: 07.11.2025).Расчетная инструкция (методика) «Удельные показатели образования вредных веществ, выделяющихся в атмосферу от основных видов технологического оборудования для предприятий радиоэлектронного комплекса», шифр 1011. Электронный фонд правовых и нормативно-технических документов. Available at: https://docs.cntd.ru/document/1200066873 (accessed: 07.11.2025).Calculation instruction (procedure) “Specific indicators of the formation of harmful substances released into the atmosphere from the main types of technological equipment for enterprises of the radio-electronic complex”, code number 1011. Elektronnyy fond pravovykh i normativno-tekhnicheskikh dokumentov. (In Russ.). Available at: https://docs.cntd.ru/document/1200066873 (accessed: 07.11.2025).